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特種氣體管道的施工

施工管理和現(xiàn)場(chǎng)施工的幾個(gè)注意點(diǎn)

項(xiàng)目管理人員和施工人員都要進(jìn)行施工安全和施工質(zhì)量的培訓(xùn)，了解特種管道的施工作業(yè)要求和規(guī)范，了解特種氣體的基本知識(shí)，從而加深對(duì)特種管道施工質(zhì)量重要性的認(rèn)識(shí)。

特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此對(duì)管道施工人員要進(jìn)行各種角度下的彎管培訓(xùn)，對(duì)焊工也必須進(jìn)行焊接程序的培訓(xùn)，熟悉各種焊接參數(shù)的調(diào)整，后管工和焊工都必須經(jīng)過(guò)考試，由專(zhuān)門(mén)的質(zhì)量管理人員確認(rèn)合格后，發(fā)給作業(yè)許可證后方可施工.

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)

簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單，通常不需要連續(xù)性供氣，對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。

惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，電子特種氣體要多少錢(qián)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒(méi)有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，哪里有特種氣體廠，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒(méi)有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

特種氣體系統(tǒng)：

主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

對(duì)于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，武漢特種氣體，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精1確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，特種氣體公司哪家好，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒(méi)有三通。后管道還要有良好的接地。

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